设备故障模式影响分析是将设备分割为子系统（部件）和元件（零件），逐步分析每个零件可能发生的故障模式对部件及设备故障的影响，然后提出可能采取的预防改进措施。当故障模式影响分析结果特别严重，可能造成死亡或重大财物损失时，要结合产生后果的严重程度进行故障模式影响及危害度分析。
进行故障模式影响分析时，要对元件可能产生的故障模式逐个进行分析。这里元件是指构成系统（设备）、部件、组合件的单元，包括：
功能件——由几个或几百件零件组成，具有独立的功能。组合件——两个以上零件组成，具有特定的性能，也可叫部件。
零件——不能进一步分解的单元，具有设计规定的功能。操作者——人为差错也能使设备发生故障，可列入元件一栏中进行分析。
进行分析时，重要的是确定设备是由哪些“元件”组成的。有时没有必要把元件分得过细，如机械上的电动机是由许多零件组成的，但拆开以后，电动机元件是没有使用价值的，因此可把整个电动机看成是机械的1个元件。
这种分析对研究机械故障的影响特别有用，要仔细选择那些发生故障后可能对人、设备产生不利影响的元件进行分析。现在列举1个工人使用钻床钻孔为例进行故障模式影响分析。如钻头折断，可能对人、设备都不会产生影响，但由于没有钻头，无法使用。操作工失误也可引起设备故障，在钻孔时，如果操作工未将工件固定，其影响要根据工件和钻头大小、加工材料进行具体分析。当钻头小、没有固定的工件是薄木板，操作后对工件、人和设备都不会产生大的影响；如果钻头较大，没有固定的工件是厚钢板，就可能伤人。如果工件已固定，在操作时钻头的进给量过大时，对人、设备都不会产生影响，但会损坏钻头；如果工件未固定，钻头进给量过大时，不仅会损坏钻头，而且工件可能会随钻头旋转而伤人，甚至损坏钻床。总之，这种分析方法是具体情况具体分析，分析者的经验越丰富，分析结果越全面；缺点是每次只能对一种故障模式进行分析。事实上有些比较严重的故障是许多因素结合在一起引起的。
