精密电子器件和特种器件要求微细加工技术

电子技术发展方向是微型化、固体化、集成化和高可靠度。微细加工技术是电子器件和特种器件发展的关键性基础技术。微细加工的主体技术包括电子束曝光技术、感光技术、图型制作及复印技术、离子注入与离子溅射技术、精细抛光技术、成膜及材料改性技术等。

 

同主体工艺相配合，尚有多种辅助和支撑技术，例如激光测量定位技术、电子显微镜观测技术、高真空技术，以及高纯水、高纯材料、高纯气体制备技术等。